GSENSE400-BSI PulSar搭載カメラ

VUV/EUV/軟X線シリーズは200nm以下のアプリケーション専用カメラです。Gpixel社の高エネルギー光検出機能を最大限に高めた新技術PulSarはVUV(真空紫外)、EUV(極端紫外)及び軟X線の検出量子効率ほぼ100%を実現しています。従来のBSIセンサ表面に形成される反射防止膜と保護膜を無くすことでVUV/EUV及び軟X線に対する感度を飛躍的に高め、この技術の根幹をなす革新的な保護技術を同時に実現しました。これにより200nm以下の波長域における量子効率の向上と暗電流の低減、また放射線損傷による耐性も向上しました。 

アプリケーション例

• 直接露光検出イメージング(非シンチレータ)

• 軟X線顕微鏡

• EUVリソグラフィー

• EUV露光装置(ステッパー)

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